반도체 계측검사 장비업체인 오로스테크놀로지가 개발한 `오버레이(overlay) 계측기`가 2013년 제30주차 IR52 장영실상을 수상했다. 오버레이 계측기란 반도체 제조 공정에서 형성되는 적층의 패턴(patternㆍ반도체 칩에 정밀하게 회로를 만드는 과정) 가운데 잘못된 정렬들을 확인하는 장비다. 즉 얇은 회로가 담긴 수십 개 층이 비뚤어지지 않고 아래위로 제대로 쌓였는지 검증하는 장비다.
반도체 회로 선폭이 극도로 미세화하면서 반도체 계측 분야에서도 초정밀 장비가 필요하고 그 수요도 점차 늘어나는 추세다.
삼성전자와 하이닉스 등 국내 반도체 제조업체는 `20나노미터(㎚=1㎚는 10억분의 1ｍ) 공정`에서 가장 앞선 기술을 확보하고 있다. 하지만 반도체 미세화 공정에 필요한 핵심 장비인 오버레이 계측기는 그동안 이스라엘 업체가 국내에 독점 공급해 왔다. 이런 상황에서 오로스테크놀로지는 국내 최초로 오버레이 계측기를 개발해 전량 수입에 의존하던 장비를 대체하기 시작했다.
이준우 오로스 상무(연구소장)는 "니콘 등 일본과 미국 업체들도 정밀성 문제를 극복하지 못해 개발을 포기한 오버레이 계측기를 국산화한 것"이라며 "이 장비 개발로 100% 수입에 의존하던 국내 시장을 대체해나가고 해외시장까지 진출할 수 있는 토대를 마련했다"고 말했다. 이 제품은 인공지능 기술을 적용해 0.4㎚ 이하까지 초정밀하게 측정할 수 있다. 오로스테크놀로지는 이 제품 개발로 지난해 100억원의 매출을 올렸고 올해는 200억원을 목표로 하고 있다. 내년에는 1100억원대를 형성하고 있는 국내 오버레이 계측장비 시장의 절반 이상을 잠식할 수 있을 것으로 보고 있다.
이 상무는 "앞으로 반도체 계측장비 시장뿐 아니라 최첨단 측정장비가 필요한 유기발광다이오드(OLED)와 액정표시장치(LCD) 산업에도 진출할 것"이라고 말했다.
■ 주최 : 매일경제신문사, 한국산업기술진흥협회