창립 100주년 맞은 에드워드, 세미콘 코리아 2019 참가
더욱 복잡해지는 반도체 공정에 진공 및 가스처리기술의 새로운 방향을 제시
진공 및 가스처리기술의 세계적인 선두주자인 에드워드 코리아(대표: 윤재홍)가 1월 23일부터 1월 25일 서울 코엑스에서 진행되는 세미콘 코리아 2019 전시회에 참가한다. 에드워드 코리아는 이번 전시회에 참여하여 지난 100년간 보여온 뛰어난 기술력을 바탕으로 점점 더 다양해지는 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 유지할 수 있는 새로운 진공 및 가스처리기술 솔루션을 선보인다.
이번 세미콘 코리아에서 에드워드 코리아는 공정 부산물 처리에 적합한 차세대 iXH 건식 펌프를 선보인다. 이 제품은 넓은 범위의 온도에 대한 내구성을 갖춰 펌프 성능의 최적화를 이루어 프로세스 가스의 응축과 부산물 축적을 최소화 한다.
에드워드 코리아의 윤재홍 대표이사는 “전세계적으로 대기 배출 가스에 대한 법규가 강화되면서 이에 따른 대응책에 대한 관심이 높아지고 있다. 이와 동시에 발달하는 첨단 기술력을 실현하기 위한 최적의 진공 및 가스처리 솔루션이 요구되고 있다. 이에 따라 곧 출시될 에드워드의 차세대 iXH 건식 펌프는 공정 부산물 대응에 최적의 솔루션을 제공할 것이다.”라고 말하며 이어 "올해로 창립 100 주년을 맞이하는 에드워드는 앞으로도 고객과의 긴밀한 협력을 지속하면서 고객의 혁신을 만들어 내기 위한 다양한 솔루션을 제공할 것이다."라며 소감을 밝혔다.
또한 에드워드는 ‘에드워드 100년 기술의 혁신’을 축하하며 세미콘 코리아 세미나를 통해 다음의 새로운 혁신 솔루션 두 가지를 소개한다. 1)CVD 공정 내 부산물이 발생하면서 발생되는 위험 요소들에 있어 시스템 안정성과 효율성 증대를 위한 대응 전략 솔루션 (1월 23일 수요일 Room 308), 2) High aspect ratio ALE 공정에서 향상된 웨이퍼 생산 수율 및 생산성 확보를 위한 이해와 솔루션 (1월 24일 목요일 Room 307)
올해로 창립 100주년을 맞은 에드워드의 지나온 100년의 발자취와 앞으로 선보일 혁신 솔루션은 2019년 1월 23일부터 25일까지 서울 코엑스 D홀 전시장에서 만나볼 수 있다.