비상시 gas 누출에 대한 최소한의 안전 대응 시스템 (Safeguard)
- CLEAN-PROTECT는 다수의 Air-extracted cabinet을 병렬 연결하여, 가스 누출사고가 발생할 경우 유독성 가스 또는 기타 위험한 가스를 흡수하도록 설계가 되어있습니다.
- AsH3, BF3, Br2, Cl2, ClF3, COCl2, F2, HCl, HF, HBr, H2S, H2Se, HCN, NH3, N2H4, PH3, SO2 gas를 포함합니다.