SEMICON Korea 2019

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CLANET 

CLEAN-VENT

- 가스캐비닛(Air extracted cabinet)에 새로운 가스 실린더(gas cylinder)로 교체하는 경우 이전 가스실린더 또는 - 배관 내에 남아 있는 잔여 가스(residual gas)를 제거해야 합니다. - CLEANVENT는 25년 이상 이런 위험한 가스를 퍼지(purge)하여 CLEANSORB 통해 완벽하게 제거하여 안전한 해결책으로 입증되었습니다.