SEMICON Korea 2019

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Products (6)

친환경 세정 Swabs

HDD와 광학 기기 Cleaning을 위해 극도로 낮은 Ionic과 NVR Level을 가지고 있으며, 작고 접근이 어려운 Component와 O-ring Groove, 구석진 곳을 Cleaning 하기 적합한 도구입니다. 또한 Unique 한 Thermal Bo... More...

친환경 세정 Diamond ScrubPAD

친환경 세정 Diamond ScrubPAD 청정 산업 장비의 PM시 표면 손상을 최소화하여 세정할 수 있는 도구로 적용 부위별 다양한 Grit 선택이 가능해 Scrubbing-Polishing 진행이 가능합니다. 일반 수세미와 달리 Metal이나 Fiber가... More...

친환경 세정 Diamond ScrubDISK & ERGO SCRUB

Process Chamber의 오염물질을 표면 손상을 최소화하여 빠르게 제거할 수 있는 연마 패드이며, 하단부의 벨크로에 Ergo Scrub을 부착하여 Dome과 같은 구형의 표면을 보다 편리하게 세정할 수 있습니다. 또한 Implant장비, Ceramic Dom... More...

친환경 세정 UltraSOLV

Class10 환경에서 제조된 그물 구조의 친수성 폴리우레탄 폼 와이퍼와 스펀지입니다. 높은 흡수력을 갖고 있어 연마패드와 함께 사용 시 오염물 제거에 탁월하며, 정전기에 민감한 Parts를 안전하게 세정할 수 있습니다. UltraSOLV Wiper의 경우 Po... More...

친환경 세정 FTPEN & 스크럽 벨트

Chamber의 구석지거나 좁은 세부 구역(ESC의 가장자리, 구멍 등)을 세정하는데 탁월한 도구로 Diamond 재질의 ScrubBELT의 Grit을 선택 세정하여 표면 손상을 최소화할 수 있습니다. 또한 ScrubBELT를 쉽게 장착하고 회전 할 수 있도록 스... More...

친환경 세정 MiraWIPE®/SAT®Wiper

MiraWIPE는 1~2um의 미세구조로 이루어져 기존 Wiper로 제거되지 않은 표면의 미세한 틈이나 Scratch 사이의 미세한 오염물 (<0.1um)이 제거가 가능해 32nano 이하 공정에 효과적으로 사용할 수 있습니다. 또한 기존 Polyester Wip... More...