SEMICON Korea 2019

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친환경 세정 MiraWIPE®/SAT®Wiper

MiraWIPE는 1~2um의 미세구조로 이루어져 기존 Wiper로 제거되지 않은 표면의 미세한 틈이나 Scratch 사이의 미세한 오염물 (<0.1um)이 제거가 가능해 32nano 이하 공정에 효과적으로 사용할 수 있습니다. 또한 기존 Polyester Wiper 대비 8~10배의 면적을 접촉하여 Cleaning 함으로써 파티클 제거 능력이 뛰어납니다.