SEMICON Korea 2019

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친환경 세정 Diamond ScrubDISK & ERGO SCRUB

Process Chamber의 오염물질을 표면 손상을 최소화하여 빠르게 제거할 수 있는 연마 패드이며, 하단부의 벨크로에 Ergo Scrub을 부착하여 Dome과 같은 구형의 표면을 보다 편리하게 세정할 수 있습니다. 또한 Implant장비, Ceramic Dome, Novellus Heater Block 등 넓은 면적의 Chamber를 빠르고 편리하게 세정할 수 있습니다.