SEMICON Korea 2019

린텍코리아 VU-900 베이퍼라이저

린텍코리아(LINTEC KOREA)는 세미콘 코리아 2019에서 주력 제품인 VU-900 시리즈 베이퍼라이저(Vaporizer) 제품을 집중적으로 알릴 계획이다.

베이퍼라이저는 단어 뜻 그대로 ‘기화기’를 의미한다. 반도체 디퓨전(Diffusion) 공정에서 액체 프리커서(Liquid Precursor)를 직접 기화시켜 가스로 만들고, 화학기상증착(CVD) 장비 진공 챔버로 공급하는 용도로 사용된다. 이를 통해 유전막을 생성할 수 있다.

D램은 셀 커패시터 전하 저장 유무에 따라 0과 1을 구분한다. 커패시터를 만들 때는 전하가 너무 빠르게 새는 것을 막거나 주변 커패시터와 간섭을 없애기 위해 유전막을 형성한다. 유전막은 전기선 플라스틱 피복선 같은 절연막 역할을 한다. D램 선폭이 좁아질수록 보다 양질의 유전막이 필요하다.

유전막의 균일성을 유지하는 것이 D램 제조 핵심이다. 같은 조건에서 20나노 커패시터를 만들 경우 분자구조로는 더 작아진 트랜지스터에 균일한 유전막을 만들기가 매우 어렵다. 미세화가 이뤄질수록 유전막을 얼마나 얇고 촘촘하게 만들 수 있는지가 성공의 관건이다.

장비 제조사들은 프리커서를 기화시킬 때 응답 시간 단축, 박막의 일정한 도포, 기화량 증가 등을 요구하고 있다. 린텍의 VU-900 시리즈 베이퍼라이저는 이러한 고객사 요구에 특화된 제품이다. 이미 지르코늄(Zr) 유전막 양산 공정에서 활용되고 있다.

전성길 린텍코리아 대표는 “VU-900은 기화된 가스의 열변형, 미스트(Mist) 등이 가장 적어서 균일한 유전막 생성에 최적화된 제품으로 평가받고 있다”면서 “기화량을 최대화해 효율을 높였고 국내에서 개조 작업 등이 가능해 고객사도 유지보수 비용을 절감했다”고 설명했다.

린텍코리아는 베이퍼라이저 외 질량유량제어기(MFC:Mass Flow Controller), 열교환기(Heat Exchanger)도 전시한다. MFC는 불변성의 질량 기준으로 온도나 압력이 변화하는 조건에서 유량을 정확하게 측정, 제어한다. 열교환기는 반도체 공정에서 사용되는 프로세스 가스를 순간 고온으로 변환해주는 장치다.


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한주엽 기자
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